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六氟丁二烯

分子式:C4F6
分子量:162
CAS 号:685-63-2

项目 指标
外 观 无色,不浑浊
六氟丁二烯含量 ≥98%
水份 <50PPm(V)
N2 <80PPm(V)
O2 <20PPm(V)
CO2 <20PPm(V)


性 状: 易燃、有毒、无色、无味的刚瓶装液化压缩气体,吸入有害,与空气混合后,浓度达到7%时,有立即燃烧和爆炸危险
用 途: 半导体的等离子蚀刻,优良的干蚀刻气体。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电性能优良的树脂
贮 存: 贮存在阴凉通风处,容器保持密闭。贮存在原容器中的温度不超过50℃。避免阳光直射。注意不要与氧化剂一起混贮。远离烟火。
运 输: 按照压缩气体和液化气体有毒气体标准运输
包 装: 10L或47L钢瓶压缩包装, 或依客户要求包装

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